2023年中国半导体晶圆清洗设备市场全景及行业市场规模分析[图]

近年来，芯片制造的技术发展一直是半导体清洗设备发展的驱动力。随着芯片工艺的不断进步，清洗工序的数量大幅提高，所需的清洗设备数量也将持续增长，给清洗设备带来了巨大的新增市场需求；此外，为了进一步提高集成电路性能，芯片结构开始3D化，此时清洗设备在清洗晶圆表面的基础上，还需在无损情况下清洗内部污染物，这对清洗设备提出了更高的技术要求。芯片工艺的进步及芯片结构的复杂化导致清洗设备的价值持续提升。

半导体设备分类

资料来源：共研产业咨询（共研网）

由于中国半导体产业发展起步相对较晚，中国半导体设备行业发展更是步履维艰。受设备验证周期长、下游厂商缺乏动力、企业技术水平相对落后、规模较小、技术研发投入不足等因素制约，行业规模一直处于较小的状态。半导体大量依赖进口不仅严重影响我国集成电路的产业发展，也对我国电子信息产业安全造成重大威胁。2018年以来，随着国家对半导体领域的支持政策进一步强化，晶圆厂对设备供应链安全更为关注，行业进入高速发展期，国产化率迅速攀升，自2018年的5.03%上升至了2022年的14.08%，但仍处于较低水平。

2015-2022年中国半导体销售收入

资料来源：中国电子专用设备工业协会、共研产业咨询（共研网）

由于光刻、刻蚀等核心设备是投资建厂的关键，晶圆厂一般只有敲定核心设备采购事项后，才会进入正式的投资建设阶段。因此美国、日本等国的半导体设备对华出口贸易限制同样会制约我国半导体设备的国产化进程。目前中国大陆的清洗设备领域主要有盛美半导体、北方华创、芯源微、至纯科技等四家主要厂商，且专注的领域有所差异。

2015-2022年中国半导体设备销售平衡

资料来源：中国电子专用设备工业协会、中国海关、共研产业咨询（共研网）

半导体晶圆清洗设备主要是用于清洗半导体晶圆生产过程中产生的颗粒、有机物、金属和自然氧化层等污染物的设备。这些污染物包括从环境、其他制造工艺、刻蚀副产物、研磨液等等，这些污染物如不及时清理均可能造成后续制造工艺的失败，造成器件的电性失效。

半导体清洗设备分类和相应适用场合

资料来源：共研产业咨询（共研网）

据统计：2022年我国半导体晶圆清洗设备市场规模为97.83亿元，半导体清洗设备涉及硅片制造、晶圆制造、封装测试三个环节，需求量458台。

2015-2022年我国半导体晶圆清洗设备市场规模走势图

资料来源：共研产业咨询（共研网）

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