共研产业研究院通过对公开信息分析、业内资深人士和相关企业高管的深度访谈,以及分析师专业性判断和评价撰写了《2026-2032年全球与中国半导体永久键合设备市场全景调查与市场分析预测报告》。本报告为半导体永久键合设备企业决策人及投资者提供了重要参考依据。
为确保半导体永久键合设备行业数据精准性以及内容的可参考价值,共研产业研究院团队通过上市公司年报、厂家调研、经销商座谈、专家验证等多渠道开展数据采集工作,并运用共研自主建立的产业分析模型,结合市场、行业和厂商进行深度剖析,能够反映当前市场现状、热点、动态及未来趋势,使从业者能够从多种维度、多个侧面综合了解当前半导体永久键合设备行业的发展态势。
根据共研网(北京迪索共研咨询有限公司)的统计及预测,2025年全球半导体永久键合设备市场销售额约6.68亿美元,2026年预计销售金额8.98亿美元,2026-2032年复合增长率(CAGR)约17.8%,2032年将达到34.05亿美元,预计2032年中国半导体永久键合设备市场规模占全球的30%。
半导体永久键合设备是通过物理或化学方法将两片表面光滑洁净的晶圆(或芯片与晶圆)永久贴合、形成异质复合结构的后道封装关键设备,键合后无需解键合,界面以共价键结合并具备原子级键合强度。按键合对象分为晶圆-晶圆和芯片-晶圆两类;按界面材料分为直接键合与间接键合;按键合手段分为热压键合TCB、倒装芯片键合FC、混合键合及传统引线键合;按晶圆尺寸覆盖4至12英寸,8/12英寸为主力量产机型。当前AI算力驱动HBM、3D NAND及Chiplet需求爆发,混合键合与TCB设备成为增长核心。
半导体永久键合设备主要企业简介
| 企业 | 成立时间 | 总部 | 规模/营收 | 永久键合核心产品 | 技术路线与典型客户 |
| EV Group (EVG) | 1980年 | 奥地利圣弗洛里安 | 私营(营收约数亿欧元级) | GEMINI®全自动晶圆键合系统、EVG®40 D2W套刻计量平台、EVG®120全自动涂胶机、COMBOND®高真空组合键合装置 | 混合键合/熔融键合/室温共价键合技术全球领先;2025年推出业界首款D2W计量平台,2026年发布下一代涂胶机;客户覆盖台积电、英特尔、三星等;中国设益巍电子科技(上海)全资子公司 |
| Tokyo Electron (TEL) | 1963年 | 日本东京 | 2024财年营收18,305亿日元(~165亿美元),全球第三大半导体设备商 | 涂胶显影+键合集成方案(CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z等),覆盖前道涂胶显影至后道键合全流程 | 涂胶显影全球市占~90%,键合设备与涂胶显影联动形成系统优势;2025-2029财年投资1.5万亿日元扩产;中国为全球第一大市场(上海/昆山有基地);2025年卷入台积电2nm泄密事件 |
| SUSS MicroTec | 1949年 | 德国慕尼黑加兴 | 上市企业(SUSSM),营收约数亿欧元级 | 晶圆键合机(全自动/手动)、MaskTrack Pro掩模处理系统、涂胶显影设备 | 75年工程积淀,键合+光刻+掩模处理一体化方案;模块化设计适配研发到量产;2020年在中国台湾建新产线;客户覆盖MEMS、先进封装、LED |
| Canon Anelva | 1970年代(佳能集团旗下) | 日本东京 | 佳能集团半导体设备板块(集团营收~4万亿日元) | BESTEM-D510 12英寸固晶机、溅射/刻蚀设备(MRAM溅射市占~75%,刻蚀~50%)、真空零部件 | 以溅射+刻蚀+固晶为核心,键合能力偏后道封装;MRAM专用设备全球垄断级份额;中国设佳能光学设备(上海),连续9年参展SEMICON China |
| Nidec Machine Tool | 隶属尼得科集团(1973年创立) | 日本京都 | 尼得科集团营收~1.5万亿日元 | BOND MEISTER®室温晶圆键合机(高真空环境、室温表面活化直接键合)、LAMDA系列增材制造、ABLASER激光微细加工 | 室温键合消除热应力,支持GaN/GaAs与硅异质集成;2026年3月北美重组为"先进制造技术"平台,整合键合+增材+激光微加工三大业务 |
| Bondtech | 约2000年代 | 韩国 | 私营(中小规模) | 晶圆键合机(D2W/W2W) | 全球晶圆键合设备市场主要参与者之一,2021年全球前四大厂商占~75%份额中的一员;聚焦键合细分赛道,性价比路线 |
资料来源:共研产业咨询整理
半导体永久键合设备的核心应用围绕先进封装、MEMS、CIS及功率/化合物半导体四大场景展开。先进封装是最大增量来源:HBM堆叠依赖TCB热压键合实现多层DRAM与逻辑芯片互联,CoWoS/Chiplet方案中混合键合以<10μm间距完成芯片间介质-金属直接连接,互连密度较传统方案提升15倍,AMD EPYC已超50步键合工序;2.5D/3D IC同样依赖W2W永久键合实现多die垂直集成。MEMS领域,永久键合用于压力传感器、微流控器件的空腔密封与多层堆叠。CIS图像传感器通过W2W键合实现像素层与逻辑层堆叠,背照式CIS需求结构性上升。功率半导体方面,SiC/GaN与金刚石、铜等异质材料键合解决散热瓶颈。此外,化合物半导体异质集成、SOI/POI工程衬底、硅光芯片与CMOS集成均为高增长细分赛道,室温直接键合在GaAs/GaN与硅集成上具备不可替代性。
共研产业咨询 - 深度报告
2026-2032年全球与中国半导体永久键合设备市场全景调查与市场分析预测报告
2026-2032年全球与中国半导体永久键合设备市场全景调查与市场分析预测报告
本报告研究全球与中国市场半导体永久键合设备的产能、产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品特点、产品规格、价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为2021至2025年,预测数据为2026至2032年。
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