2022年中国真空机器人关键技术及行业未来发展趋势[图]

应用在真空度为10-5Pa环境下的硅片机器人被称为真空机器人。这种机器人在设计时即要满足净化环境的要求，同时也要考虑真空条件的要求，如脱气、散热等。

真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。

直驱型真空机器人关键技术

资料来源：共研网整理

真空机器人自1987年问世以来，得到了国外很多公司的注目与研究，至今已形成一系列技术成熟的产品，如Daihen公司的SPR-311系列、JEL公司的STVHR4000系列，美国Broos公司的MagnaTran7系列等。

主要真空机器人企业及产品

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据统计2021年我国机器人市场规模为836.6亿元，其中工业机器人市场规模为444.9亿元，特种机器人市场规模为90.4亿元，服务机器人市场规模为301.3亿元。

2017-2021年中国机器人及细分品类市场规模

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目前，真空机器人主要应用在集束型设备中，通过轨迹规划完成对硅片的定位和传输。目前，应用在国内硅片生产线上的自动传输系统几乎全部从国外进口，而且国内的硅片加工设备在技术水平、稳定性、可靠性和自动化程度上与国际水平都有很大差距。我国硅片传输机器人的研究起步较晚，现阶段大都还处于研发过程，没有形成系列产品，目前只有沈阳新松机器人公司、哈尔滨工业大学、大连理工大学等少数单位开展了硅片传输机器人相关研究。

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