2024年中国缺陷检测设备行业分析：随着半导体检测设备需求增加，市场需求提升[图]

缺陷检测设备是集成电路制造中不可或缺的良率监控设备。其基本原理是结合扫描电镜成像技术、高精度运动控制技术、高速图像数据处理和自动检测分类算法等，在集成电路制造环节对晶圆及集成电路的物理缺陷和电性缺陷进行检测。

缺陷检测设备分类

资料来源：共研产业咨询（共研网）

随着半导体制程不断缩减，光学检测在先进工艺技术的图像识别的灵敏度逐渐减弱，电子束检测在先进工艺中开始增加。原理为利用电子束扫描待测元件，得到二次电子成像的影像，通过对二次电子的收集，通过比对圆片上不同芯片（Die）同一位置的图像，或者通过图像和芯片设计图形的直接比对，可以找出刻蚀或设计上的缺陷，其中2023年全球缺陷检测设备市场规模同比增长8.2%。

2019-2024年全球缺陷检测设备市场规模及增速

资料来源：共研产业咨询（共研网）

在缺陷检测环节，无图形晶圆检测、图形晶圆检测以及掩膜版缺陷检测通常采用光学检测技术，合计占比 51.9%，而电子束技术主要用于部分关键区域的检测以及缺陷复检，合计占比10.7%，其中2023年中国缺陷检测设备市场规模增长11.6%，预计2024年中国缺陷检测设备市场规模同比下降14.9%。

2019-2024年中国缺陷检测设备市场规模及增速

资料来源：共研产业咨询（共研网）

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