2025年中国前道量检测设备市场规模约700亿元 绿色化已成为行业发展新要求[图]

共研产业研究院通过对公开信息分析、业内资深人士和相关企业高管的深度访谈，以及分析师专业性判断和评价撰写了《2025-2031年中国前道量检测设备行业全景调研及发展趋势研究报告》。本报告为前道量检测设备企业决策人及投资者提供了重要参考依据。

为确保前道量检测设备行业数据精准性以及内容的可参考价值，共研产业研究院团队通过上市公司年报、厂家调研、经销商座谈、专家验证等多渠道开展数据采集工作，并运用共研自主建立的产业分析模型，结合市场、行业和厂商进行深度剖析，能够反映当前市场现状、热点、动态及未来趋势，使从业者能够从多种维度、多个侧面综合了解当前前道量检测设备行业的发展态势。

前道量检测设备是芯片制造产线中不可或缺的核心装置，主要用于在芯片前道生产的各个工序中，运用光学技术、电子束技术等，对晶圆进行关键指标的量测和潜在缺陷的检测。

前道量检测设备功能

新能源汽车、集成电路、生物医药等高端制造领域对高精度量检测设备需求激增。2025年，我国前道量检测设备市场规模约700亿元；预计2030年前道量检测设备市场规模将突破1200亿元，CAGR达12.5%-14.5%。

2025-2030年中国前道量检测设备市场规模预测及增速

随着集成电路工艺节点的减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升，对量检测设备的技术要求也越来越高。电子束检测技术因其高分辨率和独特的电性缺陷识别能力，在先进制程中的应用逐渐扩大。

前道量检测设备未来趋势