第一章 电子特气行业概述

1.1 电子特气相关界定

1.1.1 电子特气的含义

1.1.2 电子特气的分类

1.1.3 电子特气的纯度

1.2 电子特气工艺分类

1.2.1 化学气相沉积工艺

1.2.2 光刻工艺

1.2.3 刻蚀工艺

1.2.4 掺杂工艺

1.3 电子特气工艺流程

1.3.1 气体纯化

1.3.2 气体合成

1.3.3 空气分离

1.3.4 气体充装

1.3.5 气体混配

1.3.6 气体检测

1.3.7 气瓶处理

第二章 2020-2024年全球电子特气行业发展综况

2.1 2020-2024年全球电子特气发展现状

2.1.1 市场发展现状

2.1.2 市场发展规模

2.1.3 市场份额分布

2.1.4 企业竞争格局

2.1.5 企业营收情况

2.1.6 产业链条布局

2.1.7 应用领域分布

2.1.8 产品技术分析

2.2 2020-2024年美国电子特气发展分析

2.2.1 市场相关政策

2.2.2 市场主体介绍

2.2.3 企业布局动态

2.2.4 市场发展困境

2.3 2020-2024年日本电子特气发展分析

2.3.1 市场发展现状

2.3.2 市场供求分析

2.3.3 市场主体介绍

2.3.4 企业营收情况

2.3.5 企业布局动态

2.3.6 出口管制施行

2.4 全球电子特气企业发展路径及经验借鉴

2.4.1 设备制造+气体服务齐头并进

2.4.2 通过收购快速开拓国际市场

2.4.3 通过技术创新丰富产品结构

第三章 2020-2024年中国电子特气行业发展环境

3.1 经济环境

3.1.1 宏观经济概况

3.1.2 工业运行情况

3.1.3 固定资产投资

3.1.4 宏观经济展望

3.2 政策环境

3.2.1 行业主管部门

3.2.2 政策发展历程

3.2.3 行业相关政策

3.2.4 行业支持政策

3.2.5 行业标准汇总

3.2.6 细分品类标准

3.2.7 区域政策动态

3.2.8 政策发展规划

3.3 行业环境

3.3.1 工业气体基本概述

3.3.2 工业气体发展特点

3.3.3 工业气体市场规模

3.3.4 工业气体区域竞争

3.3.5 工业气体竞争梯队

3.3.6 工业气体对外贸易

3.3.7 工业气体产品布局

3.3.8 工业气体发展趋势

第四章 2020-2024年中国电子特气行业运行状况

4.1 中国电子特气行业产业链分析

4.1.1 产业链条分析

4.1.2 上游供应情况

4.1.3 下游应用结构

4.1.4 产业链企业布局

4.2 2020-2024年中国电子特气市场发展状况

4.2.1 行业发展历程

4.2.2 市场发展地位

4.2.3 市场发展态势

4.2.4 市场发展规模

4.2.5 市场供应模式

4.2.6 波特五力模型

4.3 2020-2024年中国电子特气企业竞争情况

4.3.1 企业竞争优势

4.3.2 企业竞争格局

4.3.3 主要企业介绍

4.3.4 企业产品布局

4.3.5 企业营收情况

4.3.6 企业产品应用

4.3.7 企业研发投入

4.3.8 企业区域布局

4.4 中国电子特气行业技术发展状况分析

4.4.1 电子特气行业技术发展需求

4.4.2 电子特气行业技术发展意义

4.4.3 典型电子特气企业研发成果

4.4.4 高纯含氟电子气体国产化成功

4.4.5 高纯氮气“卡脖子”技术取得突破

4.5 中国电子特气行业发展问题及建议

4.5.1 行业起步较晚

4.5.2 行业竞争加剧

4.5.3 国际贸易摩擦

4.5.4 气体供应紧缺

4.5.5 行业发展建议

第五章 2020-2024年中国电子特气细分市场发展分析

5.1 清洗、蚀刻工艺特气

5.1.1 三氟化氮（NF3）

5.1.2 四氟化碳（CF4）

5.1.3 六氟化硫（SF6）

5.1.4 六氟乙烷（C2F6）

5.1.5 八氟丙烷（C3F8）

5.1.6 八氟环丁烷（C4F8）

5.2 氧化/沉积工艺特气

5.2.1 六氟化钨（WF6）

5.2.2 氧化亚氮（N2O）

5.2.3 氨气（NH3）

5.2.4 硅烷（SiH4）

5.2.5 锗烷（GeH4）

5.3 氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气

5.3.1 磷烷（PH3）

5.3.2 砷烷（AsH3）

5.3.3 乙硼烷（B2H6）

5.4 其他电子特气

5.4.1 六氟丁二烯（C4F6）

5.4.2 羰基硫（COS）

5.4.3 三氟化硼（BF3）

5.4.4 硒化氢（SeH2）

第六章 2020-2024年中国电子特气行业下游应用领域分析

6.1 半导体行业

6.1.1 半导体行业发展综述

6.1.2 半导体材料国产化

6.1.3 电子特气制程介绍

6.1.4 电子特气应用情况

6.1.5 电子特气应用规模

6.1.6 电子特气应用需求

6.1.7 电子特气应用前景

6.2 LED行业

6.2.1 LED行业发展综述

6.2.2 电子特气应用情况

6.2.3 电子特气应用前景

6.3 LCD行业

6.3.1 LCD行业发展综述

6.3.2 电子特气制程介绍

6.3.3 电子特气应用现状

6.3.4 电子特气具体应用

6.3.5 电子特气应用前景

6.4 太阳能电池行业

6.4.1 太阳能电池发展概述

6.4.2 电子特气制程介绍

6.4.3 电子特气应用情况

6.4.4 电子特气应用前景

第七章 2020-2024年国外电子特气行业重点企业经营情况

7.1 美国空气化工产品

7.1.1 企业发展概况

7.1.2 企业业务介绍

7.1.3 企业产品布局

7.1.4 企业经营状况

7.1.5 企业技术创新

7.2 林德集团

7.2.1 企业发展历程

7.2.2 企业业务介绍

7.2.3 企业经营状况

7.2.4 电子气体营收

7.2.5 企业技术创新

7.3 法国液空集团

7.3.1 企业发展历程

7.3.2 企业业务介绍

7.3.3 企业经营状况

7.3.4 电子特气营收

7.3.5 工业网路组织

7.3.6 企业发展战略

7.4 日本酸素公司

7.4.1 企业发展概况

7.4.2 企业经营状况

7.4.3 企业功能扩展

7.4.4 企业基础技术

7.4.5 企业布局动态

7.4.6 企业发展前景

7.5 日本昭和电工株式会社

7.5.1 企业发展概况

7.5.2 企业业务介绍

7.5.3 企业产品布局

7.5.4 企业经营状况

7.5.5 企业发展动态

7.6 其他企业

7.6.1 大阳日酸

7.6.2 关东电化

7.6.3 艾迪科

第八章 2020-2024年中国电子特气行业重点企业经营情况

8.1 广东华特气体股份有限公司

8.1.1 企业发展概况

8.1.2 企业发展历程

8.1.3 企业经营现状

8.1.4 特气营收情况

8.1.5 企业业务模式

8.1.6 企业业务布局

8.1.7 企业技术发展

8.1.8 企业项目布局

8.2 苏州金宏气体股份有限公司

8.2.1 企业发展概况

8.2.2 企业发展历程

8.2.3 企业工艺介绍

8.2.4 企业经营现状

8.2.5 特气营收情况

8.2.6 企业产能规模

8.2.7 企业产品布局

8.2.8 企业技术发展

8.2.9 企业在研项目

8.2.10 企业收购动态

8.3 江苏雅克科技股份有限公司

8.3.1 企业发展概况

8.3.2 企业发展历程

8.3.3 企业经营现状

8.3.4 企业产品布局

8.3.5 电子特气营收

8.3.6 企业项目动态

8.4 江苏南大光电材料股份有限公司

8.4.1 企业发展概况

8.4.2 企业发展历程

8.4.3 企业经营现状

8.4.4 特气营收情况

8.4.5 特气布局分析

8.4.6 企业产品布局

8.4.7 企业研发投入

8.5 昊华化工科技集团股份有限公司

8.5.1 企业发展概况

8.5.2 企业发展历程

8.5.3 企业经营现状

8.5.4 特气营收情况

8.5.5 企业产能规模

8.5.6 企业产品布局

8.5.7 企业研发投入

8.5.8 企业项目动态

8.6 湖南凯美特气体股份有限公司

8.6.1 企业发展概况

8.6.2 企业发展历程

8.6.3 企业竞争优势

8.6.4 企业经营现状

8.6.5 气体营收分布

8.6.6 电子特气销售

8.6.7 企业产品布局

8.6.8 企业研发投入

8.6.9 企业项目动态

8.7 湖北和远气体股份有限公司

8.7.1 企业发展概况

8.7.2 企业经营现状

8.7.3 电子特气营收

8.7.4 电子特气供应

8.7.5 企业研发投入

8.7.6 企业项目动态

8.8 其他企业

8.8.1 杭氧股份

8.8.2 巨化股份

8.8.3 正帆科技

8.8.4 派瑞特气

8.8.5 博纯材料

8.8.6 绿菱公司

8.8.7 硅烷科技

8.8.8 同辉气体

8.8.9 太和气体

第九章 2020-2024年中国电子特气行业投资分析

9.1 2020-2024年中国电子特气行业投融资状况

9.1.1 企业投资规模

9.1.2 行业融资现状

9.1.3 企业融资动态

9.1.4 企业战略合作

9.1.5 项目投资进展

9.2 中国电子特气行业投资进入壁垒

9.2.1 技术壁垒

9.2.2 客户壁垒

9.2.3 服务壁垒

9.2.4 资金壁垒

9.2.5 资质壁垒

9.3 中国电子特气行业投资风险及策略

9.3.1 行业投资风险

9.3.2 行业投资策略

9.3.3 项目投资方向

第十章 中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析

10.1 宜章凯美特特种气体项目

10.1.1 项目基本情况

10.1.2 项目投资价值

10.1.3 项目投资概算

10.1.4 项目经济效益

10.1.5 项目备案情况

10.2 南大光电高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目

10.2.1 项目基本情况

10.2.2 项目投资价值

10.2.3 项目建设周期

10.2.4 项目投资概算

10.2.5 产能消化空间

10.2.6 项目经济效益

10.2.7 项目备案进展

10.3 正帆科技气体扩产项目

10.3.1 项目基本情况

10.3.2 项目投资可行性

10.3.3 项目建设主体

10.3.4 项目建设周期

10.3.5 项目投资概算

10.3.6 项目环保措施

10.4 派瑞特气三氟化氮项目

10.4.1 项目基本情况

10.4.2 项目投资价值

10.4.3 项目投资概况

10.4.4 项目建设进度

10.4.5 项目经济效益

10.5 派瑞特气高纯电子气体项目

10.5.1 项目基本情况

10.5.2 项目投资价值

10.5.3 项目投资概算

10.5.4 项目建设进度

10.5.5 项目经济效益

第十一章 2025-2031年中国电子特气行业发展趋势及前景预测

11.1 中国电子特气行业未来发展趋势

11.1.1 行业发展机遇

11.1.2 行业发展趋势

11.1.3 国产替代趋势

11.2 对2025-2031年中国电子特气行业预测分析

11.2.1 2025-2031年中国电子特气行业影响因素分析

11.2.2 2025-2031年中国电子特气市场规模预测

图表目录

图表 电子特种气体分类

图表 不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求

图表 三种分离方法比较

图表 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程

图表 光刻工艺中电子气体的使用流程

图表 刻蚀工艺中电子气体的使用流程

图表 刻蚀机中辉光放电原理

图表 离子注入工艺流程

图表 离子注入机之磁分析器结构简图

图表 离子注入机设备结构简图

图表 电子气体纯度要求

图表 气体纯化工艺流程图

图表 气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）

图表 空气分离工艺流程图资

图表 气体充装工艺流程图

图表 气体混配工艺流程图

图表 气体检验工艺流程图

图表 气瓶处理工艺流程图

图表 2024、2024年全球电子气体市场规模

图表 2024年全球电子特种气体行业市场竞争格局

图表 全球工业气体知名企业

图表 2024年全球四大气体公司营业收入

图表 海外电子气体产业链

图表 全球电子特气行业市场应用结构

图表 海外电子特气厂商产品技术情况

图表 工业气体龙头的发展路径

图表 林德集团的收购事件

图表 空气化工的技术、产品和市场

图表 2020-2024年国内生产总值及其增长速度

图表 2020-2024年三次产业增加值占国内生产总值比重

图表 2020-2024年全部工业增加值及其增长速度

图表 2024年主要工业产品产量及其增长速度

图表 2024年全国规模以上工业增加值同比增长速度

图表 2024年全国规模以上工业生产主要数据

图表 2024年全国三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表 2024年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表 2024年固定资产投资新增主要生产与运营能力

图表 2024年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表 2024年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表 2024年固定资产投资新增主要生产与运营能力

图表 2024年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表 2024年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表 2024年固定资产投资新增主要生产与运营能力

图表 电子特气行业主管部门

图表 电子特气相关政策演变

图表 2020-2024年电子特气行业的相关国家政策